क्रायोपम्प्स को वैक्यूम प्राप्त करने के लिए गैस संघनन, क्रायोजेनिक सोखना, क्रायोजेनिक ट्रैपिंग या सक्शन के सिद्धांत के अनुसार बनाया जाता है।
1. पंप के काम के दबाव के अनुसार, यह निरंतर प्रवाह सीमा के लिए क्रायोपम्प में विभाजित किया जा सकता है, आणविक प्रवाह सीमा के लिए क्रायोपंप, आमतौर पर घनीभूत पंप प्लस एक सोखना चरण या एक क्रायोजेनिक कैप्चर चरण।
2. शीतलन विधि के अनुसार, यह भंडारण टैंक cryopump, वाष्पीकरण क्रायोपंप और प्रशीतन cryopump में विभाजित किया जा सकता है. उनमें से, भंडारण टैंक क्रायोपम्प और वाष्पीकरणीय क्रायोपम्प दोनों प्रशीतन के लिए तरल रेफ्रिजरेंट का उपयोग करते हैं, शीतलन ढाल सतह का उपयोग आमतौर पर तरल नाइट्रोजन का उपयोग किया जाता है, और क्रायोजेनिक सतह का उपयोग आमतौर पर प्रशीतन के लिए तरल हीलियम या गैस हीलियम का उपयोग किया जाता है। ज्वलनशीलता, विस्फोटकता और तरल हाइड्रोजन की उच्च कीमत के कारण, यह अभी भी तरल हीलियम की तुलना में उच्च वाष्पीकरण एन्थैल्पी के बावजूद शायद ही कभी उपयोग किया जाता है।
प्रशीतन क्रायोपंप रेफ्रिजरेटर आमतौर पर Gifford द्वारा उपयोग किए जाते हैं। मैकमोहन प्रकार (जीएम रेफ्रिजरेटर के रूप में जाना जाता है) और स्टर्लिंग प्रकार (सेंट रेफ्रिजरेटर के रूप में जाना जाता है)। बड़े पंपिंग गति के साथ प्रशीतन क्रायोपम्प्स के लिए, एक तरल हीलियम तापमान-ग्रेड रेफ्रिजरेटर का उपयोग किया जा सकता है, और एक जे-टी वाल्व को तरल परिसंचरण प्रशीतन उपकरण बनाने के लिए सेट किया जा सकता है, और कभी-कभी तरल भंडारण टैंक या नाइट्रोजन द्रवीकरण मशीन में तरल नाइट्रोजन का उपयोग चकरा और ढाल सतह को ठंडा करने के लिए किया जाता है।
क्रायोपंप का मुख्य प्रदर्शन
(1) पंपिंग गति से अधिक, पंपों के अन्य सभी प्रकार की तुलना में बेहतर।
(2) आकार पर कोई प्रतिबंध नहीं है, इसे वैक्यूम चैंबर में डुबोया जा सकता है या एक निकला हुआ किनारा के साथ वैक्यूम चैंबर की दीवार पर तय किया जा सकता है।
(3) यह वैक्यूम सिस्टम को प्रदूषण के बिना पूरी तरह से साफ वैक्यूम प्रदान कर सकता है।
(4) बेहद कम दबाव की वैक्यूम डिग्री प्राप्त की जा सकती है, जैसे कि 10-12Pa से नीचे। इसके अलावा, क्रायोपम्प का संचालन विश्वसनीय है, और जब पंपिंग गति अपेक्षाकृत बड़ी होती है, तो इसके निवेश की परिचालन लागत पारंपरिक वैक्यूम पंप की तुलना में कम होती है, और स्वचालन का एहसास करना आसान होता है।