इंजेक्शन तरल हीलियम cryopump में कम तापमान पंप और बंद चक्र हीलियम रेफ्रिजरेटर cryopump दो।
इंजेक्शन प्रकार क्रायोजेनिक पंप
मुख्य रूप से तरल हीलियम कंटेनर द्वारा, पंप शरीर और तरल नाइट्रोजन के चक्कर प्लेट गुहा भागों के साथ जुड़ा हुआ है। तरल हीलियम की खपत को कम करने के लिए, इस दौरान डबल इन्सुलेशन दीवार और वैक्यूम के साथ तरल हीलियम कंटेनर की बाहरी दीवार। जब पंप 4.2K पर ठंड प्लेट के काम में द्रव नाइट्रोजन और हीलियम गैस संक्षेपण में पूर्व पीए दबाव में पंप होता है फिलीस्तीनी अथॉरिटी की संख्या में हीलियम हाइड्रोजन का आंशिक दबाव पूर्व-पंप होता है, इसलिए पंप प्रति वर्ष के नीचे अंतिम दबाव प्राप्त कर सकता है। तरल हीलियम कंटेनर वैक्यूम डीकंप्रेसन 6650 केपीए के लिए, तरल हीलियम तापमान 2.3K तक कम किया जा सकता है, कम सीमा दबाव प्राप्त कर सकते हैं।
बंद चक्र गैस हीलियम रेफ्रिजरेटर के लिए क्रायोजेनिक पंप
यह एक नए प्रकार का क्रायोजेनिक पंप था जो 70 के दशक में दिखाई दिया। यह पंप हीलियम का उपभोग नहीं करता है, इसे संचालित करना आसान है और बनाए रखने में आसान है, और व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। रेफ्रिजरेटर का रेफ्रिजरेटिंग माध्यम गैस हीलियम है, पहला वर्ग ठंड प्लेट तापमान 50 ~ 100K है, आम तौर पर 65K आवेदन होता है, जिसका उपयोग पानी वाष्प और अन्य गैस को घनीभूत करने के लिए किया जाता है, और दो स्टेज ठंड प्लेट का तापमान होता है 10 ~ 20 क्यू, जो नाइट्रोजन, ऑक्सीजन और आर्गन गैस को घनीभूत करता है। दो चरण के ठंडे प्लेट की आंतरिक सतह सक्रिय कार्बन के साथ लेपित है। सक्रिय कार्बन में कम तापमान पर हीलियम, नीयन और हाइड्रोजन के लिए मजबूत सोखना क्षमता है। कोल्ड प्लेट ऑक्सीजन मुक्त तांबा से बना है, और सतह को दर्पण की सतह के लिए पॉलिश किया जाता है, ताकि विकिरण गुणांक को कम किया जा सके। पंप का सीमा दबाव पीए है, कामकाजी दबाव सीमा पीपीए है, और पूर्व पम्पिंग दबाव 1 पीपीए है। उत्पाद का उत्पादन दर 60000 लीटर प्रति सेकंड तक पहुंच गया है। इसके अलावा, प्रक्रिया की विशेषताओं के अनुसार, निकास एयर कूलिंग प्लेट को पंप वाले कंटेनर में व्यवस्थित किया जा सकता है, और पम्पिंग दर 106 लीटर प्रति सेकंड तक पहुंच सकती है।
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