क्रायोपंप एक वैक्यूम पंप है जो कम तापमान की सतह का उपयोग गैस को संघनित करने के लिए करता है, जिसे कंडेनसेट पंप के रूप में भी जाना जाता है। क्रायोपंप उच्चतम पंपिंग दर और न्यूनतम अंतिम दबाव के साथ एक स्वच्छ वैक्यूम प्राप्त कर सकता है, और व्यापक रूप से अर्धचालक और एकीकृत सर्किट के अनुसंधान और उत्पादन में उपयोग किया जाता है, साथ ही साथ आणविक बीम अनुसंधान, वैक्यूम कोटिंग उपकरण, वैक्यूम सतह विश्लेषण उपकरण, आयन प्रत्यारोपण और अंतरिक्ष सिमुलेशन। उपकरण, आदि
पम्पिंग सिद्धांत क्रायोपम्प एक ठंडी प्लेट से सुसज्जित है जिसे तरल हीलियम या रेफ्रिजरेटर द्वारा बहुत कम तापमान पर ठंडा किया जाता है। यह गैस को संघनित करता है और पंप के अंतिम दबाव के नीचे घनीभूत वाष्प के दबाव को रखता है, ताकि पंपिंग प्रभाव को प्राप्त किया जा सके। कम तापमान पंपिंग के मुख्य कार्य कम तापमान संक्षेपण, कम तापमान सोखना और कम तापमान पर कब्जा करना है।
क्रायोपंप
कम तापमान संक्षेपण: गैस के अणु ठंडी प्लेट की सतह पर या संघनित गैस की परत पर संघनित होते हैं, और संतुलन दबाव मूल रूप से घनीभूत के वाष्प दबाव के बराबर होता है। हाइड्रोजन पंप करते समय, प्लेट का ठंडा तापमान कम होता है।
कम तापमान सोखना: गैस के अणुओं को एक आणविक परत की मोटाई के साथ ठंडे प्लेट पर लेपित सोखना की सतह पर सोख लिया जाता है। सोखना के लिए संतुलन दबाव समान तापमान पर वाष्प के दबाव से बहुत कम है।
क्रायोजेनिक ट्रैपिंग: गैस के अणु जिन्हें निष्कर्षण तापमान पर संघनित नहीं किया जा सकता है, संघनित गैस की बढ़ती परत द्वारा दफन और सोख लिया जाता है।